Slim Load Port
Das Slim Load Port von Fabmatics ermöglicht Operatoren den manuellen Zugriff auf Waferlose genau dort, wo sie sie für ihre Arbeit brauchen – immer flexibel und an jedem Ort der Fab.
Der flexible Raumsparer für den manuellen Zugriff
Der manuelle Zugriff auf Produktionslose in hochautomatisierten Chipfabriken ist normalerweise mit langen Wartezeiten verbunden, weil die FOUPs oft erst aus den Stockern am Rande der Produktion angefordert werden müssen. Abhilfe schafft das Slim Load Port, das genau dort einen manuellen Zugriff auf die FOUPs ermöglicht, wo der Operator sie für seine Arbeit benötigt.
Slim Load Ports sind kompakte und flexible Stationen, die an jedem beliebigen Punkt in der Fabrik platziert werden können, um in diesem Bereich kurz- oder langfristig eine manuelle OHT Ein- und Ausgabe zu gewährleisten, z.B. für kurzfristige Tests oder Messungen oder bei Störungen im OHT. Um den manuellen Zugang auf die Lose überall und jederzeit zu ermöglichen, können die Slim Load Ports auch präventiv an allen Produktionslinien installiert werden. Tool Simulationen für das OHT mit Hilfe der Slim Load Ports sind ebenfalls denkbar.
Features:
Schlankes Design & geringes Gewicht
- Schnelle und einfache Installation
- Leicht umzuziehen
- Geringer Platzbedarf
SEMI Standard konform
- Mit jedem 300mm OHT einsetzbar
- Einhaltung des FOUP-Abstandes nach SEMI Standard (505mm) bei Aneinanderreihung der Load Ports „Kante an Kante“
Interfaces
- MES/MCS Schnittstelle
- Eingebauter RFID Reader (134.2kHz)
- SEMI E84 Schnittstelle für die Kommunikation zwischen Slim LP und OHT-Vehicle
