Test Wafer Center (TWC)
Diese All-in-One-Lösung für das Management von Testwafern ist ein zentraler Bestandteil der komplexen Materiallogistik, die für die Vorbereitung, Qualifizierung und Rückgewinnung von Materialflüssen in der Halbleiterproduktion erforderlich ist. Sie ermöglicht es, das Kitting, die Lagerung, die Umsortierung und das De-Kitting von Testwafer-Losen vollständig zu automatisieren und damit die Qualität der Fertigungsergebnisse in Halbleiterfabriken sicherzustellen.
Automatisiertes Testwafer-Management in der Halbleiterfertigung
Testwafer sind für die Halbleiterherstellung unverzichtbar, da sie für die Qualifizierung der Anlagen und die Prozessüberwachung entscheidend sind. Sie machen bis zu 50 % des Waferbestands einer Fabrik aus. Die manuelle Verwaltung von Testwafer-Losen ist zeitaufwändig und fehleranfällig.
Das Test Wafer Center (TWC) automatisiert das Kitting und De-Kitting von Testwafer-Losen sowie deren Lagerung vollständig. Sein kompaktes und hochflexibles Layout erlaubt bis zu 93 Lagerplätze und bis zu 14 Materialhandhabungsplätze, was es zur perfekten Lösung für komplexe Qualifizierungsszenarien macht. Es bietet vollständige (Fern-)Kontrolle über die Bestimmung des Zeitpunkts und des Inhalts jeder Testwafercharge und ermöglicht eine Just-in-Time-Lieferung an Prozessanlagen.
Mit SECS-Host-Kommunikation, kamerabasiertem Roboter-Routing, optionalem Wafer-Alignment und -Identifizierung sowie verschiedenen Optionen zur Carrier-Identifizierung gewährleistet das TWC eine sichere, genaue und vollständig rückverfolgbare Materialkontrolle.
Durch die Anbindung an ein beliebiges automatisiertes Materialhandhabungssystem (Conveyor oder Fahrzeug) sowie die Möglichkeit der manuellen Ein- oder Ausgabe von Carriern ist die Integration in die Produktionsanlage nahtlos und schnell.
Key features und Benefits
Geschwindigkeit & Effizienz
- Kommissioniert Test- und Qualifizierungslose vollautomatisch, just-in-time und mit vollständiger Rückverfolgbarkeit
- Reduziert die Anzahl an Carrier-Transporten und setzt so AMHS- oder manuelle Transportkapazität frei
Sauberkeit & Materialschutz
- Arbeitet in einer eigenen ISO-3-Mini-Umgebung, die für Grauraum-Installationen geeignet ist und über einen speziellen ultra-reinen Wafer-Handling-Bereich verfügt
- Dedektiert Handling-Fehler (cross-slotting, double slotting etc.) & Dateninkonsistenzen (fehlender Wafer, zusätzlicher Wafer, falscher Wafer)
Space & Footprint
- Spart teuren Platz im Reinraum durch eine zentralisierte Lösung für das Management von Testwafern anstelle zahlreicher verstreuter Handling-Tools
- Ermöglicht Layout-Optimierung durch ein fortschrittliches Design, das ideal für enge Räume ist und sich sogar für eine Wand- oder Eckinstallation eignet
Ressourcenoptimierung
- Erstellt eine vollständige Waferhistorie mit ununterbrochener Substratverfolgung gemäß SEMI E90
- Automatische Fehlerbehebung und beschleunigte Wartungsabläufe, die dank der automatischen Inventarisierungsfunktion eine erstklassige OEE bieten
