Partikelfreie Zwischenlagerung in der Halbleiterproduktion

Der CubeStocker ist ein bodengestütztes vollautomatisches Lagersystem für offene 200mm Wafer-Carrier. Die automatische Ein- und Ausgabe für dieses System erfolgt z.B. über ein Deckentransportsystem (Conveyor).

Frontansicht des CubeStocker im Reinraum mit Servicetechniker im ReinraumanzugDas Besondere: Innerhalb des CubeStockers wird eine eigene ISO 3-Reinraumatmosphäre geschaffen, um die Wafer vor dem nächsten Bearbeitungsschritt absolut sauber zwischenzulagern. Somit räumen wir dem Produktionsprozess einen Puffer ein, ohne dass durch die Zwischenlagerung die Qualität der Ausbeute leidet. Durch die eigene Versorgung mit sauberer Luft kann der CubeStocker auch im Grauraum (ISO 6) platziert werden, um die wertvolle Reinraumfläche für wichtige Produktionsmaschinen zu sparen.

Der CubeStocker ist besonders für Halbleiterfabriken geeignet, die keine Lagermöglichkeit unter der Decke haben. Er bietet in seiner kompakten Form Platz für bis zu 200 Waferkassetten. Der Aufbau des CubeStockers erfolgt von „innen“. So kann das System auch in Ecken und Nischen problemlos aufgestellt werden. Auch eine Aneinanderreihung von mehreren Stockern ist so möglich.

Die Identifikation des angelieferten Materials erfolgt mittels RFID-Technik.

Herzstück des Lagersystems ist ein Roboterportal

Das Roboterportal im Inneren des CubeStockers besteht aus zwei parallel angesteuerten Vertikalachsen sowie einem 6-Achs-Roboter. Dieser holt die Kassetten vom Transportsystem und  lagert sie in die Lagerplätze ein- und aus. Die hohe Präzision und Linearität des Roboterarms stellt ein gefahrloses und vibrationsfreies Handling der sensiblen Wafer sicher. Das Anlernen der einzelnen Lagerplätze erfolgt automatisch, so dass die Inbetriebnahme bzw. Instandsetzung so kurz wie möglich gehalten werden kann und das System der Produktion schnell zur Verfügung steht.

Features:

  • Hohe Stelldichte (200 Waferkassetten)
  • Erfüllt Reinraumklasse ISO-3
  • Hochperformanter Stäubli Roboterarm TX2-90XL mit 1450 mm Reichweite in Super Cleanroom Ausführung (SCR)
  • Ein- und Ausgabe über Schnittstellen zum Deckentransportsystem (Conveyor)
  • Systemweite Carrier-Identifikation durch RFID-Technologie
  • Einbindung in bestehende Automatisierung durch SEMI SECS/GEM Schnittstelle
  • Reduzierte Dauer der Inbetriebnahme bzw. Instandsetzung durch automatisches Anlernen der Roboterpositionen

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