RFID-Nachrüstung
RFID-Tag-Nachrüstung für Wafer-Kassetten
Mit dieser kostengünstigen Alternative der nachträglichen Ausrüstung von Wafercarriern mit RFID-Tags werden auch ältere Halbleiterfabriken in die Lage versetzt, ihre Produkte automatisch und sicher zu identifizieren.
Die Herausforderung dieser Nachrüstung liegt besonders im nachträglichen Anbringen der Transponder am Carrier. Bei gängigen Techniken wie Kleben oder Clipbefestigung entstehen Ausgasungen oder Reibungen, welche wiederum zu Kontamination und Partikelbildung führen. Mit unserem entwickelten Verfahren werden die RFID-Tags mittels Ultraschall an die Carrier angeschweißt. Der Transponder wird hermetisch abgeschlossen in einer Transponderhalterung an den Carrier angebracht. Er entspricht exakt der vom Carrier-Lieferanten angebotenen Bauform. Die Schweißnaht wird so ausgeführt, dass weder Oberflächenveränderungen noch mechanische Veränderungen am Carrier entstehen.
RFID-Antennen-Nachrüstung für Loadports
Um Loadports von Prozessanlagen mit RFID-Antennen nachzurüsten, hat Fabmatics sichere und kosteneffektive Antennenhalterungen entwickelt.
Brücke
- Für Prozessanlagen mit mehreren aneinander angrenzenden Loadports (2 – 4 Loadports)
- Kann leicht an unterschiedliche Anlagen angepasst werden.
Laterne
- Für die Integration einer einzelnen Antenne (z.B. für Einzel-Loadport)
- Der Fuß kann an jeder metallischen Oberfläche befestigt werden. Das Edelstahlrohr, in dem das Antennenkabel geführt wird, ist in unterschiedlichen Geometrien erhältlich, so dass eine störungsfreie Installation gewährleistet ist.
Spezielle Antennenhalterungen, z. B. für Vakuumkammern und Wafersorter, sind ebenfalls verfügbar.
RFID bei Transport und Lagerung
Sorgen Sie für ein lückenloses Tracking und Tracing Ihrer Produktionslose auch beim Transport und bei der Lagerung der Wafer-Kassetten.
Auch dafür haben wir Lösungen entwickelt: