Wafergreifer, 100 bis 450 mm
Der Wafergreifer von Fabmatics handhabt einzelne Wafer in unterschiedlichen Größen von 100mm bis 450mm Durchmesser ohne dabei die empfindliche Oberseite zu berühren.
Einzel Wafer Handling
Für das Greifen von Wafern der Größen 4 Zoll (100mm) bis 18 Zoll (450 mm) bietet Fabmatics Endeffektoren für das Rückseitengreifen. Für das Randgreifen stehen Lösungen für Wafer der Größen 12 Zoll (300 mm) und 18 (450 mm) Zoll zur Verfügung.