Modernes AGV für hochgenaue Belade- und effiziente Transportaufgaben im Reinraum

Der HERO®FAB ist ein mobiler Roboter, der ein etabliertes, sauberes und sicheres Robotersystem mit einer innovativen Fahreinheit (AGV/FTS) kombiniert. Er wurde entwickelt, um Prozessanlagen vollautomatisch zu be- und entladen. Er ermöglicht einen schnellen Transport zwischen Prozessanlagen und dem FAB-Transportsystem oder Speichern/Regalen im Reinraum. Basierend auf der bewährten schienengebundenen Lösung der HERO® Produktfamilie (>100 installiert) bietet das mobile Handling mit dem HERO®FAB die Möglichkeit, völlig frei im Reinraum zu fahren – ohne Schiene oder Kabelanschluss. Ein intelligentes Navigationssystem und ein innovatives Energiemanagement bieten ideale Voraussetzungen für die Automatisierung von einzelnen Anlagen, größeren Bereichen oder ganzen Fabriken.

Neben der Objektsicherheit erfüllt der HERO®FAB auch weitreichendste Sicherheitsanforderungen, die bei der Interaktion von Menschen und Maschine im gleichen Arbeitsbereich bestehen. Je nach den lokalen Gegebenheiten kann das Sicherheitssystem maßgeschneidert angeboten werden.

Gerne sind wir auch zu anderen Modifikationen bereit. Kundenspezifische Anpassungen sind unsere Stärke.

Mobiler Roboter im Reinraum. Mobiles Transportsystem HERO FAB im Reinraum beim Handling und Transport von Wafern zusammen mit einem Operator.

Spezifikation AGV/Mobiler Roboter HERO Fab

  • Omnidirektionale Fahreinheit → keine Notwendigkeit zu wenden
  • Schnelle Positionserkennung am Ziel (~1s) und genaue Beladung (<1mm)
  • Hohe Nutzlast auf dem Fahrzeug von 100 kg – 150 kg
  • Vertikale Erreichbarkeit von 200 mm – 1.500 mm (entspricht 4 Regalebenen), für Masken (RSPs) bis zu >1.600 mm
  • Modernste Sicherheitssysteme für Personen-, Objekt- und Umgebungssicherheit
  • Geeignet für ISO 3/2 Umgebungen (offene Kassetten)
  • Versionen für SMIF Pods, RSPs, Transportboxen und offene Kassetten

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