ACH – LUNA
Das Beladesystem LUNA von Fabmatics ist eine Roboterzelle zur Automatisierung des Carrier Handlings im Reinraum.
Automatisiertes Beladen von Prozessanlagen
Zentrales Element des Automatischen Carrier Handlings (ACH) in der Ausführungsform LUNA (Loading Unit Advanced) ist eine Roboterzelle mit einem 6-Achs-Roboter. LUNA-Anlagen werden individuell den Aufstellbedingungen des konkreten Einsatzes angepasst, bauen aber auf standardisierten Modulen auf.
Die Variantenvielfalt erstreckt sich von Lösungen mit stehendem Robot über Lösungen mit hängendem Robot, Lösungen mit integrieren Stockerplätzen zur Batchbildung, SECS-, E23-, E84-Interfaces und einer Vielzahl von Optionen wie Manuport, RFID-Reader, Loadportüberwachung sowie kamerabasierter Kontrolltechnik unter Einschluss von Bildverarbeitung.