Produktsortiment

200mm Wafer Handling

Handling

Systeme zur Handhabung von Wafern, Masken und Carriern in der Halbleiterindustrie sowie von Substraten in der Mikro- und Nanoelektronik

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Mobiler Roboter im Reinraum. Mobiles Transportsystem HERO FAB im Reinraum beim Handling und Transport von Wafern zusammen mit einem Operator.

Transport

Automatisierung mit stationären Conveyor-Lösungen sowie mobilen und frei fahrenden Robotersystemen

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FlatStocker Installation mit 200 Boxen beim Frauenhofer IMPS in Dresden

Lagerung

Von automatisierten Lagersystemen für eine platzsparende Aufbewahrung über RFID Regale bis hin zu Purge Systemen

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RFID Reader bei der Montage und Reinigung

Identifikation

Zuverlässige Identifizierung und Ortung von Produktionslosen in Echtzeit

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