Autonomer Mobiler Roboter (AMR) für automatisiertes Reticle Handling und Transport in der Halbleiterproduktion
Als neuestes Mitglied unserer erfolgreichen HERO Produktfamilie setzt dieser AMR neue Maßstäbe in Sachen Flexibilität und Sicherheit beim Transport und der Handhabung von Reticle Pods in Reinräumen. Ausgestattet mit modernster Technologie, steigert er wie seine Vorgänger die Effizienz in Ihrer Produktionsumgebung und hebt Ihre betriebliche Exzellenz auf ein neues Niveau.
Herausforderungen in der Fotolithografie
Schlüsselrolle der Fotolithographie in der Halbleiterherstellung
Die Fotolithografie ist der Schlüsselprozess in der Halbleiterfertigung. Dieser Bereich erfordert äußerst hohe Investitionen und stellt immense Herausforderungen an Prozesse und Logistik, wie beispielsweise Doppelbelichtungen, spezielle Maschinenzuweisungen und komplexe Zeitplanungen. Daher liegt der stärkste Fokus in der Lithografie auf Optimierung, Effizienzsteigerung und Fehlerbeseitigung. Die Reticle-Logistik spielt dabei eine entscheidende Rolle. Sie muss vollständig synchronisiert und fehlerfrei parallel zur WIP-Logistik (Work In Progress) ablaufen.
Der Bedarf an Automatisierung
Ambitionierte Optimierungsziele in diesem äußerst komplexen Umfeld stoßen an ihre Grenzen, solange der menschliche Faktor mit all seinen Unsicherheiten und individuellen Bedürfnissen eine Rolle spielt. Die Lösung ist Automatisierung.
Timing und Koordination im Belichtungsprozess
Ein modernes Halbleiterprodukt mit bis zu 50 Belichtungsschichten muss zur optimalen Zeit mit den erforderlichen Reticles an der Belichtungsanlage zusammengeführt werden. Stillstandzeiten oder Wartezeiten sind inakzeptabel. Der teuerste Bereich der Fabrik muss kontinuierlich und fehlerfrei laufen, um den maximalen Durchsatz zu erreichen.
Die alltäglichen Herausforderungen in einer Halbleiterfabrik
Der Alltag in der Fab ist jedoch voller Herausforderungen. Neben den hohen Durchsatzanforderungen, die schnelle und präzise Material- und Set-up-Wechsel erfordern, ist die Pufferkapazität an den Anlagen begrenzt (sowohl für WIP an den Loadports als auch in der Retikelbibliothek). Häufig werden scheinbar triviale Dinge zu Hindernissen. So sind die Loadports für Reticle an den Anlagen oft in ergonomisch ungünstigen Positionen angebracht, was dazu führt, dass die Operator Stufen oder Leitern nutzen müssen, um den jeweiligen Loadport zu erreichen.
Vorteile der Automatisierung von WIP- und Reticle-Logistik
Die Automatisierung von WIP- und Reticle-Logistik lohnt sich nicht nur als Ersatz für manuelle Arbeit, sondern vor allem aufgrund des Optimierungspotenzials für die Gesamtanlageneffektivität (OEE) und die Einhaltung von Produktionsplänen. Diese Vorteile wirken sich nicht nur auf den Lithografie-Bereich aus, sondern auf die gesamte Fabrik, da die Lithografie das Tempo für den restlichen Produktionsprozess vorgibt.
Unsere Lösung: Ein kompakter, flexibler und präziser AMR
Hochflexibler, automatisierter Reticle-Transport im Reinraum
Der HERO Scout ist ein mobiler Roboter, der speziell für den flexiblen Transport und die sichere Handhabung von Reticle Pods in der Halbleiterfertigung und in Reinraumumgebungen entwickelt wurde. Ausgestattet mit einem innovativen Cobot, bewältigt der HERO Scout mühelos das Be- und Entladen von Loadports in unterschiedlichen Höhen.
Als kleinster reinraumtauglicher autonomer mobiler Roboter auf dem Markt, besticht er durch ultra-saubere Qualität und maximale Reichweite.
Entdecken Sie die Vorteile des sicheren Reticle Pod-Transports mit dem HERO Scout – Ihre Lösung für eine effiziente und zuverlässige Produktion in der Halbleiterindustrie.
Externe Inhalte
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Key Features des HERO Scout
- Cobot für flexibles Handling
- Längste Reichweite in seiner Klasse
- Kompakt und Reinraum-kompatibel
- Innovative Sensor- und Kameratechnologie
- Ultra-sauberes Design
Reichweite des Roboters: 200 – 1,700 mm
Gewicht: 230 kg
Geschwindigkeit: Max. 1.4 m/s
Transportobjekte: RSP, MRSP, DMS Boxen, probe cards
Transportkapazität: 2 Bufferplätze
Reinraumklasse: ISO 2 / US FED 0.1 zertifiziert
Vorteile des HERO Scout
Steigern Sie die Effizienz Ihrer Produktion
Der HERO Scout garantiert den sicheren und schnellen Transport und die Handhabung von Reticle Pods im Reinraum. Er verhindert Ausfallzeiten und Materialschäden, die die Effizienz Ihrer Fabrik beeinträchtigen. Der Hero Scout nutzt induktive On-the-Fly-Ladetechnologie, die es ihm ermöglicht, sich während des Pick-and-Place-Prozesses aufzuladen. so dass keine Zeit verloren geht.
Präzise Handhabung von Reticle Pods
Der HERO Scout arbeitet autonom mit 3D-Kameras zur Hinderniserkennung und -umgehung und bietet sowohl spurgebundene als auch frei fahrende Optionen. Er lässt sich leicht an verschiedene Produktionsszenarien anpassen, ohne dass eine umfangreiche Einrichtung erforderlich ist. Mit seinem innovativen, hochsensiblen 6-Achsen-Cobot bewältigt der HERO Scout präzise und sicher das oft schwierige Be- und Entladen von Loadports von Belichtungsanlagen.
Sparen Sie Zeit bei der Inbetriebnahme und Wartung
Der HERO Scout besticht durch kurze Inbetriebnahmezeiten dank SLAM und Auto-Teaching und geringen Anpassungsaufwand an Veränderungen in der Produktionsumgebung. Seine Greiferkamera sorgt dank "Autogripping" dafür, dass kein Nachteachen notwendig ist. Auch nach Wartungsarbeiten an der Ladeöffnung oder anderen Korrekturmaßnahmen ist der Scout schnell wieder einsatzbereit.
Gewährleisten Sie die Sicherheit Ihrer Operator und Ihres Materials
Der HERO Scout ist mit fortschrittlicher Sensor- und Kameratechnologie ausgestattet, um sicheren Betrieb in Umgebungen zu gewährleisten, in denen Menschen und Maschinen kollaborativ zusammenarbeiten. Sein sensibler Cobot-Arm und die Fail Safe over EtherCAT-Technologie (FsoE) erhöhen die Sicherheit, indem sie z.B. die Reaktionszeiten für Not-Aus-Befehle und andere Sicherheitsvorkehrungen verkürzen.
Bleiben Sie in jedem Anwendungsszenario flexibel
Der HERO Scout kann jederzeit an die spezifischen Anforderungen Ihrer Produktionsumgebung angepasst werden, ohne dass umfangreiche Baumaßnahmen erforderlich sind. Dank seiner intelligenten Technik navigiert der HERO Scout autonom und meistert seine Aufgaben ohne externe Leitsysteme. Ausgestattet mit einer 3D-Kamera zur Hinderniserkennung und -vermeidung ist sowohl geführtes als auch völlig autonomes Fahren möglich. Die Möglichkeit, beides zu kombinieren, gibt Ihnen maximale Flexibilität.
Nutzen Sie Ihre verfügbare Reinraumfläche maximal aus
Der HERO Scout ist der kleinste reinraumtaugliche AMR auf dem Markt. Er verfügt über einen Differenzialantrieb und eine minimale Stellfläche, die es ihm ermöglicht, durch die engsten Passagen zu navigieren. Dies macht ihn ideal für enge Fabrikbereiche und Gänge, optimiert die Raumnutzung und erhöht die betriebliche Flexibilität.
Warum Fabmatics? Mit uns ist alles im Fluss.
Fabmatics verfügt über die einzigartige Kompetenz, komplexe Automatisierungs-, Robotik- und Handlingsysteme für den Einsatz unter Reinraumbedingungen anzubieten, von der Hard- und Software über die Beratung und Entwicklung bis hin zur Produktion und Installation sowie dem After Sales Service.
Jedes unserer Produkte und Lösungen integriert sich nahtlos in bestehende Produktionslinien - immer angepasst an die Bedürfnisse unserer Kunden.
Darüber hinaus sind wir dank unserer umfassenden Fachkenntnisse in der Lage, die Materialfluss- und Handhabungsautomatisierung für Ihre Greenfield-Fabs von Grund auf zu konzipieren, zu entwickeln und zu implementieren - alles aus einer Hand.
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Lernen Sie unsere HERO-Produktfamilie kennen!
Mit unseren praxiserprobten Systemen zur Handhabung von Wafern, Masken und Carriern in der Halbleiterindustrie sowie von Substraten in der Mikro- und Nanoelektronik auf Roboterbasis machen wir ein manuelles Eingreifen überflüssig.
Sie navigieren entweder autonom oder schienengebunden durch Halbleiterfabriken in aller Welt und sind wahre Helden im Reinraum, die dafür sorgen, dass das richtige Material zur richtigen Zeit ankommt.
Entdecken Sie, wie sich unsere Automatisierungslösungen in Ihre Fertigungsumgebung einfügen und die Leistung Ihrer Fabrik steigern und neue Maßstäbe für Produktivität und Wettbewerbsfähigkeit setzen.
