Systeme für den vollautomatischen Materialtransport
Unsere Transportsysteme beschleunigen den Produktionsablauf – und können weitere Arbeitsschritte integrieren.
Transportlösungen
Der automatische Ablauf sämtlicher Materialtransporte bis zur Prozessanlage ermöglicht die Einsparung wertvoller Operator-Zeit. Mit unseren automatisierten Transportsystemen lassen sich problemlos verschiedene Arten von Kassetten und andere Produkte mit unterschiedlichen Inhalten innerhalb der Produktionsabläufe befördern.
Zusätzliche Arbeitsschritte wie das Auslesen der Carrier-IDs und Wafer-IDs, die Verifizierung (Mapping) und das Ausrichten (Notchen) der Wafer können wir zeitsparend in diesen Prozess integrieren – überall in der Transportstrecke.
Unsere mobilen Systeme übernehmen zudem Handlingaufgaben, wie das Be- und Entladen von Produktionsanlagen.
Für 300mm-Halbleiterfabriken haben wir Ein- und Ausgabestationen für Overhead-Transportsysteme als intelligente Schnittstelle zwischen dem Operator und einem Automatisierungssystem entwickelt.
Auf einen Blick:
- Fest installierte Transportsysteme wie Rollenförderer, inklusive Liftsysteme und Drehteller
- Mobile, schienengebundene Transportsysteme, wie unseren HERO Rail
- Mobile, autonom navigierende Roboter, wie HERO Scout und HERO Fab
- Manuelle Ein- und Ausgabestationen für Overhead-Transportsysteme
- Manuell bedienbare Transportwagen
Unsere Transportsysteme sind geeignet für Fabriken bis Reinraumklasse ISO3 (US FED 1).