Überall dort, wo Produkte und Materialien unter Reinraumbedingungen verarbeitet werden, können wir mit unseren Systemen die Abläufe automatisieren und damit die komplette Produktion beschleunigen. Dazu zählen u.a. die Automatisierung im Reinraum, die Automatisierung von Bestandsfabriken, die Materialhandhabung im Reinraum, die automatisierte Handhabung von Wafern und Carriern, Transportsysteme für Waferkassetten, Roboter für Maschinenbeladung und RFID-Identifikationssysteme.

Eine Auswahl unserer erfolgreich realisierten Automatisierungslösungen finden Sie hier:

Projektbeispiele

Halbleiterbranche:

Komplettes Materialhandling einer nass-chemischen Fertigungszelle inklusive Transport, Lagerung und Handhabung von Transport- und Prozesskassetten, Maschinenbeladung, Kassettenwechsel, Carrier- und Einzelscheiben-Identifizierung, Mapping, Notching

Komplette Intralogistik-Automatisierung einzelner Prozess-Bays inkl. Lagerung in Zero-Footprint-Stocker, Transport über Conveyor-System und Direct-Tool-Loading mit Hilfe von RGVs sowie E23-Handling

Materialautomatisierung von Nassbänken durch stationäre 6-Achs-Roboter inkl. Anbindung an Deckentransportsystem sowie vollautomatischer Be- und Entladung der Prozessanlagen

Video der Projektbeispiele zur nachträglichen Automatisierung einer 200mm Wafer Fabrik:
Material Handling Automation

Elektronische Bauelementefertigung:

Realisierung eines Transportsystems zwischen verschiedenen Fab-Ebenen für unterschiedliche Wafer-Durchmesser und Kassetten-Typen

Vollautomatisches Lagersystem für Prozesssubstrate inklusive Anbindung an ein AGV-Transportsystem

Pharmazie:

Entwicklung halbautomatischer Reinraum-Transportwagen für die Serumproduktion

Photovoltaik:

Entwicklung einer vollautomatischen Transportstrecke für Solarwafer-Kassetten mit direkter Maschinenbeladung