Roboter im Reinraum
Für die Be- und Entladung von Prozess-, Mess- und Prüfanlagen sowie für die Handhabung innerhalb der Maschinen haben wir verschiedene Lösungen entwickelt, die auf Roboter-Basis das manuelle Eingreifen überflüssig machen.
Carrier Handling
Die letzten Meter im Produktionsablauf zwischen Transportsystem und Produktionsanlage werden häufig noch durch manuellen Einsatz überbrückt. Um aber auch diesen Bereich in die vollständige Automatisierungskette integrieren zu können, haben wir die entsprechende Lösung zur Maschinenbeladung entwickelt: mit Handling-Robotern.
So versetzen wir unsere Kunden in die Lage, ihr Material vollautomatisch zwischen einem vorhandenen Transportsystem (bzw. einer Ein-/Ausgabestation als Schnittstelle zu nichtautomatisierten Fabrikbereichen) und dem Loadport der Produktionsanlage zu handhaben. Diese Maschinenbeladung lässt sich auch dort automatisieren, wo bisher nicht-standardisierte, manuelle Ladevorgänge erforderlich waren.
Auf Basis der gegebenen Bedingungen vor Ort wählen wir aus verschiedenen Robotertypen das passende Modell für eine präzise Materialübergabe aus. Hier sind sowohl mobile als auch fest installierte Lösungen möglich – je nachdem, welches Modell Ihren Anforderungen am besten gerecht wird. Die Mapping-Funktion kann dabei gleich in den Roboterarm integriert werden.
Unser Portfolio umfasst:
- Festinstallierte Handhabungsroboter (stehend oder hängend)
- Handlingeinheiten auf freifahrenden Systemen (AGV)
- Schienengebundene Roboter (RGV)
Wafer Handling
Neben dem Handling von Kassetten und Produktionslosen sind wir auch in der Lage, Wafer bis zu ISO-1-Umgebungen zu handhaben. Dabei können wir selbst logistisch komplexe Abläufe, die bisher einen hohen manuellen Aufwand erforderten, automatisieren. Dazu gehören das Umhorden zwischen verschiedenen Kassettentypen, das Bestücken mit Testwafern oder Dummy-Scheiben, die Sortierung, die Wafer-Identifizierung, das Slotmap-Scannen und das Ausrichten (Notchen).
Dazu bieten wir Ihnen:
- Flap Conveyor, die die Wafer in die passende Position für den Roboterzugriff bringen
- 3 bzw. 6-Achs-Roboter zum Einzelscheibenhandling
- Transfereinheiten für den gleichzeitigen Transfer von 25 Wafern
- verschiedene Endeffektoren für das Rand- bzw. Rückseitengreifen
Masken Handling
Unsere Automatisierungslösungen für das Masken Handling übernehmen die Be- und Entladung von Masken (Reticlen) aus und in Reticle-SMIF Pods, Übernahme der Reticle vom Loadport zum Bilderfassungssystem, Pellicle- oder Edge-Detektion, visuelle Inspektion der Reticle, vollautomatische Reticle-Rotation und Reticle-Flip-Funktion.
Fabmatics gehört zudem weltweit zu den Pionieren, die sich mit Handling- und Robotiklösungen den Herausforderungen der EUV-Lithografie für Nanostrukturen stellen. Unsere Handling-Systeme für EUV-Reticle sind sowohl als Standalone-Geräte, z. B. als Reticlesorter, als auch als Equipment-Front-Module, z. B. als Beladesystem, verfügbar.
Handling weiterer Materialien
Unser erfahrenes Fabmatics-Team von Feinwerktechnikern, Maschinenbauern, Elektronikern und Softwarespezialisten entwickelt und konstruiert Handhabungstechnik, Roboterlösungen und Automatisierungssysteme auch für andere Materialien und Produkte, wie z. B. Leiterplatten, Probenträger, Mikroteile und Glassubstrate. Nutzen Sie unseren Erfindergeist und sprechen Sie uns an! Wir sind auf Ihre Anforderungen gespannt.